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九五至尊网站>产品库>专用仪表>其它行业>原子层沉积系统>1200度滑竿式单温区PECVD系统
  • 1200度滑竿式单温区PECVD系统

1200度滑竿式单温区PECVD系统

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具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地南京市
  • 更新时间2023-11-24
南京博蕴通仪器科技有限公司
  • 厂商性质其他
  • 所在地区南京市
  • 实名认证已认证
  • 产品数量383
  • 人气值5874
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南京博蕴通仪器科技有限公司是在规定高校校办企业与高校脱钩的形势下、在南京大学校办工厂产权改制的情况下、由南京大学校办工厂核心成员组建的一家专业从事电炉、球磨机研究和开发的生产型企业。 公司聘请了多名南京大学、东南大学、南京邮电大学、南京理工大学、河海大学等教授为指导，吸收了国外众多品牌的优点并结合自身多年产品设计开发经验，先后研制出了多款外观优美、结构紧凑、功能*的材料研发设备。其中真空熔炼炉、真空电弧炉、真空钨丝炉、真空钼丝炉、大型转动管式炉、真空悬浮熔炼炉等设备已经达到了水平。公司产生的双温区双翻盖管式炉于2015年在南京航空航天大学生长出了世界上【硼烯】。其中的多款设备被耶鲁、哈弗、斯坦福、新南威尔士等世界学府选用，在国内被 中科大微尺度国家实验室、南京大学微结构国家实验室、华中科技大学光电国家实验室、华中科技大学煤燃烧国家重点实验室、浙江大学硅材料国家重点实验、中航工业北京材料研究院、中国航天集团空气动力研究院、中科院物理所、中科院化学所、上海硅酸盐研究所等学府及研究单位选用。 公司本着“、客户“的宗旨，刻苦奋斗努力拼搏的精神，在生产过程中严格执行国内外行业标准。使我们的产品远销欧美、加拿大、澳大利亚、印度、韩国、等世界各地，每年出口设备在500台以上。公司总生产和销售的设备超过1000台。公司产品先后通过了ISO9000 、UL、CSA、CE等认证。全建立了一套完整的质量管理体系，产品质量具有可靠保证，物美价廉，是高校、科研院所、研发企业的产品。 公司坚持以客户需求为导向，博采众长、结合自身优势、蕴育通达，为客户提供的产品。 热忱欢迎新老客户对我们的工作提出宝贵意见。 愿竭诚与广大用户、科研院所、业界同仁合作，共同发展。 我们只专注于电炉和球磨机。因为专注、所以专业。
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产品简介在线询价

主要技术参数TL1200滑动管式炉型号TL1200-H-PECVD-ITL1200-H-PECVD-IITL1200-H-PECVD-III功率2
1200度滑竿式单温区PECVD系统 产品详情

主要技术参数

 

TL1200滑动管式炉

 

 

 

 

 

 

 

型号

TL1200-H-PECVD-I

TL1200-H-PECVD-II  

 TL1200-H-PECVD-III

 功率

2.5KW

3.5KW

3.5KW

  炉管尺寸

Dia60(OD)X1800mm

Dia80(OD)X1800mm

Dia100(OD)X1800mm

炉管尺寸（mm）

高纯石英管:60/80/100*1800mm(管径可选）

两边各放置一个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置

 

外形尺寸（LXDXH）

1800X410X610

1800X460X660

1800X460X660

电源电压

220V
滑轨材质 304不锈钢
滑动方式 不锈钢滚动轴承

相数

单相

加热元件

   进口瑞典Canthal  A1 电阻丝      点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表（标配）

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，

主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

（更换进口仪表，需要另外付费，选购）

                                                   

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

（日本岛电）

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

有

过温保护

有

过流保护

有

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃ 

升温速率

≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）

推荐升温速率

≤10℃/ Min

热电偶型号

K  型

加热段长度

400mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

 

     射频电源

（等离子体发生器）

 

功率输出范围

  0-500W

反射功率

  200W

工作频率

射频：13.56MHZ±0.005%

功率稳定度

 +/-0.1%  

谐波分量

≤-50dbc

射频区域宽度

0-600mm 可调

匹配方式 

 自动

 冷却方式

 分冷

 噪声

 <50dB

射频接口

 50Ω   N-type

输入电源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供气系统主要参数

 

流量控制和检测采用

 

 D07-7C

质量流量计

 

标准量程

采用质子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意选择量程和所通气体的类型）

工作压力

3MP

准确度

 ±1.5%

气压降

<0.01mpa< p="">

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽气系统

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 600X600X600

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

 

VRD-8真空泵

 

型号

VRD-8

  极限分压强

5X10-2 Pa

   进排气接口

 KF25

    电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

    电机功率

0.4KW

Perfeer ACP15无油多级罗茨泵 

 

（方案 二）

 型号 ACP15
电源 AC100~240V    50/60HZ
功率 450W
抽、排气接口 KF25
重量 25KG
氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
极限真空度 0.02 Torr
抽气速率 14  m3/h

电阻真空计

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 5 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计

（选购）

 

 

 

 

   

 

型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC（配有220V变压器）

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组（选购）

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵（方案一） 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S（对空气）

  600

分子泵极限压强（Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压（MPa）

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃< p="">

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa< p="">

前机真空泵RVP-6

（方案一）

 

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率（L/S）

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵（方案二）

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率（N2）

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 5 Pa

 保修期

一年保修，终身技术支持

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa

3.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

 

TL1200滑竿式PECVD系统，由TL1200滑竿式真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。

 

 主要特点：

      1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

      2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

      3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

      4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

      5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

 

         这款TL1200 滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统，是在PECVD系统上安装一对滑轨，可用手动滑动系统。加热和冷却速率可达100°C/min。为取得加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。

 

       这款TL1200滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，炉管两端采用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa， 该系统使用方便，操作简单，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。

 

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                                    

           

        Kanthal A1 原丝                                  国产电阻丝炉膛                        VS                     进口电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站：

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

 

 

                                                                                                                                        

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝                     Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                                         温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电保护器：

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热，温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）

 

 

6、认证

     

 

7、法兰

                                                    

铰链式法兰（选购）           可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购）                 水冷法兰（选购）

                                

 

 

TL1200单温区滑动式PECVD系统标配

描叙

数量

图片

TL1200滑动式管式炉

1 套

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

3个

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1 个

Ｋ型热电偶 1个

485转换接口和软件（选配）

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 份

                                            

供气系统

   1台
VS-0.1抽气系统 1台
射频电源 1台  
卡套 4个                                       
波纹管 1支                                    
真空挡板阀 1个                           
钢瓶接头（N代表路数） N个                  
阀门接头 2个                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 

关键词：仪表 通讯接口 触摸屏
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