一、工作原理与分类
气体传输泵
变容真空泵:通过周期性改变泵腔容积实现抽气,如旋片泵(油封式)、滑阀泵、往复式活塞泵等。例如,旋片泵通过转子偏心旋转带动旋片滑动,将气体压缩后排出。
动量传输泵:依靠高速射流或旋转叶片传递动量,如扩散泵(利用油蒸气射流)、分子泵(涡轮转子高速旋转)等,适用于高真空环境。
气体捕集泵
吸附泵:通过多孔吸附剂(如分子筛)物理吸附气体分子。
低温泵:利用液氦或制冷机冷却的冷板凝结气体,适用于超高真空。
二、核心特点
宽压力范围:部分泵型(如罗茨泵)在较宽压力区间内保持高抽速。
无油设计:干式螺杆泵等无需油润滑,减少污染,适合洁净工艺。
结构复杂性:如转子表面需精密加工,对氢气抽气效率较低
































