探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D 轮廓扫描,以及翘曲度和应力的2D测量。探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,
与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。
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