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经过十几年的快速发展,南京康氏保健制品有限公司已成为集科、工、医、贸于一身的*。公司以高科技为先导,以雄厚的科研力量和资金为基础,以国内优秀的医学专家、学者和相关机构为依托,*在国内研制出了集现代光学、光电学、医学影像学和多媒体计算机于一体的现代超微智能诊断设备,是国内同类产品中*拥有和使用系统专家诊断软件的*产品,真正实现了诊断结果的自动判定。它集中了光学显微镜多视野观察的优点,其放大倍数*了光学显微镜和电子显微镜之间的空白,是显微放大技术和数字化图像处理系统的*结合。该设备拥有国内*部理论与应用的著作权,并获得国家,产品*通过了ISO9001:2000质量管理体系认证。
〈br〉 康氏公司凭借其*的生产设备、雄厚的技术力量、*的检测手段、可靠的产品质量,使产品全国二十多个省、市、自治区,并得到了一大批客户的肯定。
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冷光仪;多功能超高倍显微仪;高倍显微仪;显微镜;电镜制样设备K系列(镀金\镀铂\镀碳\溅镀\蒸镀)
K675X溅射镀膜仪可用于8英寸(200mm)晶圆镀膜。主机系统具有双齿转动样品台,可进行渐进的椭圆形转动,这样使得溅射沉积更均匀。
三靶溅射镀膜仪 产品详情
EMITECH K675X 三靶溅射镀膜仪 ——高分辨率,大样品镀铬或其它金属 K675X溅射镀膜系统装有磁电管靶可增加溅射效率,它使用低电压,可得到薄而精细的涂层。 在K675X中放置了三个靶面,可镀非常大直径的样品,加上旋转样品台,保证了均匀沉积。这种方式不需要特殊的靶面,而用标准标即可。 多靶系统在半导体晶圆工业尤为适用。它使用涡轮分子泵,前级为旋转机械泵。集成的仪器面板及即插即用的电子学zui大的“up-time”,以及用户友好设计,保证了多学科领域的应用。 溅射参数可预设,包括气体放气电磁阀。独立的真空泵系统由仪器自动控制。它可用金作为溅射靶材,在需要预清洗或去除氧化层时,也可选用其它靶材,如铬靶。 闸门作为标准配置,这样在维持真空时即可进行溅射清洁和溅射循环。 仪器特点 ● 配置三个靶面 ● 涡轮分子泵抽气系统 ● 全自动控制 ● Peltier冷却溅射头 ● 精细涂层(0.5nm Cr粒子) ● 可倾斜的特殊旋转台作为标准配置 ● 薄膜沉积(典型为5nm) ● 直径为300mm腔室 ● 可选双溅射头 仪器优点 ● 可对大样品进行镀膜,如:8英寸晶圆 ● 可溅射易氧化金属的精细颗粒,如:铬或铱 ● 易操作 ● 无需水冷却 ● 超高分辨率,可复制涂层 ● 适应各种样品 ● 重复膜厚沉积 ● 样品容易装载和卸载,包括8英寸晶圆 ● 不需要打开真空即可进行两种金属顺序涂层 技术规格 仪器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H (总高 630mm) 工作腔室:硼硅酸盐玻璃 300mm Dia. x 20mm H 安全钟罩:聚碳酸酯 重量:42公斤 靶:54 mm 直径 x 0.3mm 厚x 3(铬作为标配靶材) 旋转样品台:可调的6 至 8 英寸晶圆尺寸,到靶距离60mm 真空范围:ATM-1x10-5 mbar 沉积电流范围:0-450mA 沉积速率:0-15nm/分 溅射定时:0-4 分钟 电源:230 伏 50Hz(包括泵zui大电流为8安培) 115 伏 60Hz(包括泵zui大电流为16安培) Services Argon - Nominal 10 psi; Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas) 真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr
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