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新品推荐 - S20A.R2S一维θz无磁压电旋转台：单向大行程，更强承载

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2026年03月23日 14:34

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随着精密制造和前沿科研的快速迭代，精密角度定位的需求也愈发严苛，既要具备纳米级的定位精度，也要适配极端工况的使用需求，更要贴合细分场景的个性化操作。在此背景下，芯明天S20A.R2S一维θz无磁压电旋转台，作为S20A系列压电旋转台的新晋核心成员，S20A.R2S基于细分场景需求的精准研发，为半导体制造、精密光学、量子科研等领域，提供高效、稳定的精密角度调整解决方案。

核心产品特点

精准设计，适配专业工况

S20A.R2S压电旋转台延续了无磁压电定位技术的成熟积累，结合单向角度调整的应用特性，在行程、承载、精度与环境适配性上具有针对性优势。

01、一维θz无磁结构，杜绝磁场干扰

S20A.R2S采用一维θz轴单向旋转设计，内部结构与关键材质均经过特殊无磁处理，从根源上消除磁场产生与干扰问题。这一设计使其可直接应用于电子束加工、量子实验等磁场敏感场景。

02、2mrad单向行程，满足大角度调整需求

S20A.R2S可实现最大2mrad的单向旋转行程，作为S20A系列的重要拓展，其单向行程与S20A.R1S-C1W的±0.7mrad双向行程形成精准互补，为单向角度补偿、固定姿态设定等场景，提供了更大的操作空间。

03、3kg高承载能力，适配更多场景

在结构设计上进行优化升级，S20A.R2S的额定承载能力达到3kg，可稳定搭载重型光学镜片、晶圆检测夹具、精密探针卡等工件。更高的承载能力减少了多台设备组合使用的成本，也节省了设备安装空间。

04、纳米级精度，保障定位一致性

S20A.R2S的线性度与重复定位精度同样表现优异，可长期维持纳米级的定位稳定性与一致性。无论是长时间的精密检测，还是高频次的角度设定，都能精准输出预设角度，为高精度加工、科研实验提供可靠的定位保障。

05、复合材质设计，兼顾刚度与轻量化

整体采用不锈钢+铝合金复合材质设计：既保障了设备的结构刚度与耐磨性，确保高承载下的运行稳定性；又能实现产品轻量化，让设备的安装与集成更加灵活便捷。

技术参数

型号	S20A.R2S/K
运动自由度	θz
驱动控制	1路驱动，1路传感/1路驱动
标称旋转角度(0~120V)	1.6mrad（≈330秒）
Max.旋转角度(0~150V)	2mrad（≈413秒）
传感器类型	SGS/-
分辨率	0.04μrad（≈0.01秒）
线性度	0.008%F.S.
重复定位精度	0.01%F.S.
空载谐振频率	1550Hz
带载谐振频率	380Hz@3kg
闭/开环空载阶跃时间	30ms@3kg/10ms
静电容量	19μF
承载能力	3kg
材质	不锈钢、铝合金
重量	1520g

适配应用场景

覆盖多领域精密定位需求

凭借高效、精准的性能设计，S20A.R2S压电旋转台可广泛应用于多个高端领域的精密定位场景，为各类核心工序提供稳定支撑。

1、半导体制造

晶圆检测实现晶圆和掩模版的精确对准与定位、芯片键合探针卡微小角度调整等；

2、精密光学

真空环境下光路调整、激光加工光学元件角度设定、激光光束的偏转与稳定等；

3、生物工程

无磁环境下提供样品在显微镜下进行超高精度旋转与操纵、医疗精密器械定位等；

4、精密计量与检测

干涉仪、计量仪的单向角度校准，重型精密工件的尺寸检测定位。

定制化服务：贴合每一个专属需求

S20A.R2S压电旋转台支持根据客户的实际应用场景进行个性化开发，无论是行程范围的微调、安装接口的定制，还是控制方式的适配，芯明天都将为您提供从需求沟通到方案落地的全流程服务，确保产品与工况完美契合。

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