分析潜力
- XM样品室配备有5轴马达驱动样品台
- 多于12个接口,优化的几何设计更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)
- YAG闪烁器式探头
- 可选各种探头和配件
- 涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
- 在可变真空模式下可观测不导电的样品(XMU型号)
- 可选样品室减振方式
- 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能
VEGA3配置
XM型号适合观测大样品。
VEGA3 XMH
超大样品室,高真空模式,适用于观测大型导电材料。
VEGA3 XMU
可变真空式扫描电镜,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品,不需要喷金。



































