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离子减薄制样技术属于离子束加工的范畴。其方法是用高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子的逸出功时，便飞离样品，这样就使样品表面不断失去原子——减薄。通常都是用双枪从样品两侧轰击。样品随着支架旋转，使离子束轰击均匀。离子束的强度呈钟形分布，中心强。后在样品中心出现穿孔。在孔的周围有一圈楔形薄区可在透射电子显微镜中观察。正文编辑区域参考资料编辑区域详情>>

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