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真空开关是一种检测真空度范围的开关,又称真空继电器。其作用是:当实际工作中所产生的真空度达到规定要求时,自动开闭控制电路,发出电信号,指令真空吸附机构正常动作。它属于可靠性、安全性元件。真空开关分为机械式、半导体式和气桥式三种类型。机械式真空开关是利用机械变位来确定真空压力的变化,如膜片式真空开关。半导体式真空开关是利用半导体压力传感器来检测真空压力的变化,并能够将检测到的压力信号直接转换成电气信号。中文名真空开关外文名Vacuumswitch过程自动测控系统内的压力原理利用压力传感器原理类型精确稳定的运行的控制器别称负压压力开关又1基本信息负压压力开关又称真空开关,是集负压测量、显示、控制于详情>>

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