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压阻式压力传感器

更新时间：2026/7/15 9:29:10
压阻式压力传感器

压阻式压力传感器

压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化，再由桥式电路获相应的电压输出信号。中文名压阻式压力传感器外文名Piezoresistivepressuresensor又称扩散硅压力传感器类型压力式传感器的一种核心部分N型的圆形硅膜片应用航天、航空、航海、石油化工1压阻式压力传感器应用压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布，测试发动机详情>>

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